1965年杜邦公司大規(guī)模生產(chǎn)Kapton加熱膜,開始了聚酰亞胺加熱膜的商業(yè)化。硅橡膠加熱器使得它能夠廣泛地適用于加熱領(lǐng)域并能夠獲得相當(dāng)高的溫度控制精度。聚酰亞胺電熱膜已成功地應(yīng)用在風(fēng)云系列人造衛(wèi)星,長征系列運載火箭,東風(fēng)﹑紅旗等系列導(dǎo)彈,以及飛機,艦船,坦克,火炮的陀螺儀,加速度表,火控雷達(dá)等溫控與加熱系統(tǒng)中。pi發(fā)熱膜根據(jù)重復(fù)單元的化學(xué)結(jié)構(gòu),聚酰亞胺可以分為脂肪族、半芳香族和芳香族聚酰亞胺三種。根據(jù)鏈間相互作用力,可分為交聯(lián)型和非交聯(lián)型。在此之后,KanegafLIchi化學(xué)工業(yè)公司和Ube工業(yè)公司也在20世紀(jì)80年代將聚酰亞胺加熱膜商業(yè)化.
1、 Kapton聚酰亞胺加熱膜
杜邦公司向市場推出了較系列以Kapton為商標(biāo)的聚酰亞胺材料。詳細(xì)的性能信息可從杜邦高性能加熱膜材料公司和杜邦日本分公司獲得。
適用于微電子工業(yè)的加熱薄膜有H(N)型、V(N)型、E(N)型和K(N)型。N表示加熱膜材料是否含有無機潤滑添加劑(約1000 ppm,數(shù)量更),這些添加劑能降低材料的摩擦系數(shù),提高卷曲性能(如滾轉(zhuǎn)等)。在大多數(shù)應(yīng)用中,需要潤滑填料,字母N表示潤滑劑。通過PMDA和4,47-二氨基二苯醚的化學(xué)反應(yīng)制備了H(N)和V(N)加熱膜。不同的是V(N)比H(N)材料具有更好的體積穩(wěn)定性,在25℃~300℃的溫度范圍內(nèi)收縮很小。2,頂端聚酰亞胺加熱膜
Kanegafuchi以商品名Apical向市場推出了較系列聚酰亞胺加熱薄膜產(chǎn)品。這些產(chǎn)品全部在日本制造,近年來在美國成立。詳細(xì)信息可從Allied Apical獲得。
微電子工業(yè)用頂端聚酰亞胺加熱膜分為AV型和NP型。av的化學(xué)結(jié)構(gòu)與kapton的h(n)和v(n)相同。
NP型的化學(xué)結(jié)構(gòu)與Kapton型K(N)型非常相似。(第10條)。然而,有機芳香二胺和PPD的摩爾比未被披露。推測NPtype聚酰亞胺加熱膜具有規(guī)則的化學(xué)結(jié)構(gòu),與嵌段共聚物相似,但沒有公開的文獻(xiàn)報道。這兩種結(jié)構(gòu)的相似性使得人們推測它們的本質(zhì)也是相似的,事實上是這樣的。
3,Upilex聚酰亞胺加熱膜
日本東京的UBE工業(yè)公司推出了UPILEX系列聚酰亞胺加熱薄膜材料。這些材料已在美國由Uniglobe Kisco商業(yè)化。
采用3、3、4、4-雙酚四氧化(BPDA)和P-苯二胺(PPD)制備了適合微電子工業(yè)的模型。這種材料具有剛性骨架結(jié)構(gòu),顯示出高模量、低TCE和非常小的吸水率。雖然這種加熱膜可以在高溫下通過強堿水解,但也可以得到原料有機芳香四酸和有機芳香二胺。這種材料可以應(yīng)用于不需要被蝕刻的各種應(yīng)用目的。